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第一百六十章 第一台光刻机

作者:雨天下雨 字数:4731 更新:2024-10-26 20:24:56

半导体产业链的投入将会是非常庞大的,虽然徐申学不考虑,也不可能所有事情都自己做,但是光是牵个头,做一做光刻机,蚀刻机,离子注入机这些半导体整合设备的花费就不是个小数目。

至于真正的大后期,那可能就是涉及到整个工业底层体系的庞大命题……徐申学肯定是要让智云科技这个主要经营实体,然后再拉上一大堆国内相关企业、机构一起做的。

毕竟这种事就不是一个人,乃至一个企业能够单独搞定的。

而现阶段徐申学要做的是?智云科技要做的是什么?

说起来其实也很简单,徐申学想要先开个头,打个样……比如说先利用国内比较成熟的技术基础,把DUV干式光刻机给弄出来。

这个过程里利用智云科技的庞大的资金以及产业链事业,先把这个DUV干式光刻机进行产业化,继而带动半导体制造设备以及原料的一系列产业链。

简单来说就是把光刻机领域先产业化,产生实际的经济效益,进而带动一整个产业链的持续进步。

整个模式,其实和做智能手机,然后带动整个智能手机产业链,本质上其实差不多……

————

当下的DUV干式光刻机还是很有市场的,因为这种光刻机主要用于65-130纳米的超大规模集成电路或者说芯片制造,而当下一大堆二流手机的芯片都还在采用六十五纳米工艺呢,比如S9手机采用的MSM8X50芯片,其实就是六十五纳米工艺……

8X50芯片的性能在当下,依旧是足以进入前五。

而六十五纳米的支撑,是可以使用DUV干式光刻机制造的

再往下的各种内存以及其他类型的芯片,也是使用六十五纳米到一百三十纳米之间的工艺制造的。

这种级别的制程工艺,别说在当下了,就算是到了十几年后,依旧有相当大一部分市场。

这意味着DUV干式光刻机在十几年后依旧有市场……海湾科技搞DUV干式光刻机,市场前景还是有不小的。

海湾科技也不仅仅有比较先进的DUV干式光刻机项目,其实也有看似更落后,用248纳米波长光源,最低制程可以做到一百三十纳米工艺的KRF光刻机。

甚至连波长365纳米,最低制程只有三百五十纳米的i-line‘光刻机项目都有。

因为哪怕到了二十年代中期了,更低技术KRF光刻机,甚至i-line光刻机依旧有着广泛的市场需求和价值!

22年的荷兰ASML光刻机出货上,最顶级的EUV光刻机是四十台,ARFI是八十一台,ARF二十八台。

然后看似已经落后的第三代KRF光刻机,出货量则是惊人的一百五十一台。

甚至第二代的I-line光刻机,出货量都有四十五台。

以上说的可是最顶级的光刻机厂商荷兰ASML。

然后还有尼康,他们的ARFI出货四台,ARF四台,KRF七台,i-line十五台。

然后是佳能,KRF五十一台,i-line一百二十五台。

看似落后的第二代i-line光刻机以及第三代Krf光刻机,到了二十年代出货量依旧非常大。

而且这说的是前道光刻机,不包括后道光刻机,后道光刻机的工艺制程普遍更低,出货量同样巨大。

为什么会这样?

因为抛开手机和电脑以及一些智能终端,其实普通设备所需的芯片,对制程要求没那么高。

广泛应用各行各业的微控制器、电力电子器件、电信电路、汽车电子以及许多其他器件,因为技术和成本的原因,基本上65-350nm就够用了,而且这部分低制程工艺生产的产品,占市场的60%以上!

俄罗斯在战争期间以倾国之力发展出来的三百五十纳米制程的光刻机,其实就是属于第二代的技术水平……而这已经足以维持其战争,基本社会工业运转的需求。

————

当然,对于绝大部分行业而言,芯片工艺肯定越高越好,两三百纳米是勉强够用,但是六十五纳米更好用不是。

甚至二十八纳米,十四纳米的芯片用在普通家电上也更好啊,普通电视摇身一变就是智能电视了,嘎韭菜好用的很。

在当下的10年光刻机市场里,可不仅仅只有最顶级的EUV光刻机,其实占据出货主流的还是DUV光刻机,甚至DUV浸润式光刻机都还算是顶级光刻机,价格昂贵,出货量并不算太大。

而DUV干式光刻机,以后世眼光去看似乎落后了,但是在当下依旧是主流光刻机。

智云微电子的新工厂里,都还采购了大量的国外进口DUV干式光刻机呢。

甚至连KRF光刻机和i-line光刻机都在采购……

值得庆幸的是,目前国内的KRF以及i-line光刻机所需要的一些核心技术都已经被陆续解决。

一些核心技术虽然对比国外的先进产品还有差距,但是也能用。

只是产业利用上不咋地,做出来的前道光刻机对比国外同类产品生产效率差,市场竞争力太差了。

所以国内利用这两种技术,主要是用来做后道光刻机的。

很多时候,就算是有这技术,不代表就能够用于商业上……

尤其是这两玩意国外也不封锁,你要多少就卖你多少,在进口产品的冲击下,这两种低制程的国产前道光刻机基本没啥市场可言。

国内的前道光刻机领域,某种意义上就是这种国外同类产品倾销干死的……

正常商业环境下,就算有国内厂商搞出来看似落后的i线光刻机以及KRF光刻机了,但是因为刚搞出来的东西,多少肯定有些差距,生产效率就不太行,因此芯片工厂们也不会强行支持的。

你也不能怪国内的这些芯片工厂,毕竟低制程芯片制造行业也很卷的,用了国产光刻机的话成本太高,芯片工厂利润就会变得更少甚至亏本。

人家芯片工厂扶持伱,自己就得先死翘翘。

但是没有产业链支持下,光刻机领域怎么可能发展的起来?

然后等到被封锁的时候,一票中下游厂商就直接翻白眼了,这个时候才慌慌张张的想起,哦,我们要支持国产光刻机了……但已经晚了。

倒是后道光刻机领域里,国内技术比较好一些,市场竞争力比较强,智云微电子就采购了不少国产的后道光刻机。

基于国内的KRF以及i-line光刻机技术,各方面的子系统都已经做的比较成熟,因此海湾科技也在搞这些KRF光刻机以及i-line光刻机,这两种更简单一些,更容易培养产业链。

至于使用问题……徐申学自己有芯片工厂智云微电子啊,不仅仅有芯片工厂,还有芯片设计公司智云半导体……最关键的是还有智云科技以及威酷电子这两家下游终端产品厂商,可以为这些采用了国产光刻机的落后芯片买单!

这就是产业链一体化的好处,哪怕是在某个环节里成本稍微高一些,但是依旧能够通过其他环节把成本摊薄下去,最终还实现盈利。

————

徐申学没多久,就得到了海湾科技的好消息,他们成功利用了国产零部件搞出来了了i-line光刻机的样机!

虽然仅仅是一台i-line光刻机,只能用于最低三百五十纳米工艺,技术水平还比较拉跨,但是徐申学依旧非常重视。

别看它落后了,那也是当代最顶级的半导体设备核心设备之一,全球范围内能够生产的厂商或者国家都没几个。

海湾科技能够搞出来,那都是站在巨人的肩膀上……有着国内一大堆基础技术的支撑。

这是海湾科技成立以来搞的第一个产品……虽然它很拉跨,但是却足以为海湾科技培养一系列的技术团队,积累整机设计经验,同时和仙女山控股旗下的一大票半导体产业链的子公司们建立产业链联系。

后头仙女石控股的一百多家供应链企业,可都指望着海湾科技那边能够弄出光刻机来,进而拉动整条产业链的运转呢。

这玩意的诸多核心技术,都是仙女山控股旗下的一百多企业折腾的……当然,他们也不是从头搞起,仙女山控股体系下的这些半导体技术推进,那都是建立在过去多年国内相应基础技术的积累和突破上的。

可不是从从头开始弄!

比如搞光源系统的,仙女山旗下搞这玩意的是‘南方光学’,南方光学的前身其实是一家国内光学公司,本来就做光源系统的,技术还不错,但是同样面临着产品无法商业化的尴尬情况,经营情况极为惨淡。

仙女山控股收购了这家公司后,直接大手笔各种挖人,收购,整合,先是弄出来了更好的356纳米光源系统。

然后再把光源系统交付给海湾科技,最终整合为光刻机。

因此哪怕是一台非常落后的光刻机,但是其实际意义依旧很大,后背一大堆产业链可都指望着呢。

同时哪怕是i-line光刻机,也依旧具备不小的商业价值……芯片制造行业为了满足低制程芯片领域里的生产需求,是需要采购这种看似落后的光刻机产品的,而且直到十几年后依旧有这种需求。

比如智云微电子,他们也不仅仅是有着比较先进的九十纳米以及六十五纳米产品线,实际上智云微电子现有的产品线里,一百三十纳米到三百五十纳米的产品线依旧规模不小。

甚至为了满足集团内大量低端芯片,电子元器件的订单需求,智云微电子甚至都还在扩充这些低制程生产线呢。

只要海湾科技搞出来光刻机,甭管是多少制程的,智云微电子明天就能下单……因为都要!

基于这玩意的重要性,徐申学特地跑了一趟去看这个i-line光刻机。

海湾科技里,王道林面带喜色给徐申学介绍道:“徐总,这是我们研发的第一个产品,型号为H100A,采用的是接触接近式曝光,采用的是365nm的光源,最低可以实现三百五十纳米工艺制程,属于市场比较主流的水准!”

“在成本上我们控制的非常好,几乎所有零部件都是采用的国产零部件,这不仅仅保障了供应链安全,而且成本相对国外同类产品也比较低!”

“我们计算过,如果进行量产的话,我们的成本应该只有国外同类产品的百分之六十左右!”

“当然,我们的生产效率不如国内同类产品,故障率这些相对也高一些,后期维护成本也要高一些!”

“我们做的时候,就已经考虑到了和现有的生产线进行融合的问题,因为在大量设计标准上都采用了国际标准,可以很好的融入到智云微电子的现有生产线里!”

徐申学一边听着,一边看着前方的这台光刻机……这玩意其实从外表去看就是个大柜子……其实也看不出来什么东西。

但彷佛就是有一种魔力一样吸引徐申学去看。

这东西,严格意义上来说,还是徐申学折腾公司这么久了,搞出来技术含量最高的一种设备!

别小看了三百五十纳米制造工艺的前道光刻机……这玩意依旧是当代最顶级的精密工业设备,全球能做的厂商没几个。

而用于商业化的,目前就只有三家公司AMSL,尼康,佳能……海湾科技应该算第四家!

至于上微,他们也有这些落后前道光刻机的技术,甚至产品,但是做出来的东西没人要,市场份额几乎为零,所以也就谈不上什么商业化,不过他们的后道光刻机搞的不错,智云微电子就订购了不少。

当然……也没几个厂商会和徐申学这样,还去折腾这些落后前道光刻机的,毕竟其他厂商想要光刻机的话,直接买就可以了。

只有徐申学为了防备被封锁,打算什么都自己搞……

落后光刻机这东西吧,有实力的不需要搞,没实力的搞不了,搞了也卖不出去……就是这么尴尬的卡在这里。

徐申学围绕着走了一圈后道:“这玩意能用吧?我的意思是,能量产吗,能用于生产线吗?”

王道林听到这话,当即就匆忙道:“徐董,这肯定是可以量产,也是绝对能用于生产线的……这东西虽然技术含量高,但是我们国内的技术水平还是可以搞的,以前我在老东家的时候也做过,只是竞争不过国外同类产品,最后没人要,市场化失败了!”

徐申学道:“既然如此,那还有什么好考虑的,是骡子是马,先拉出来溜溜,弄几台去智云微电子那边看看效果。”

王道林道:“真的?智云微电子那边真的愿意用?”

徐申学听到这话都无语了:“自家的东西做出来了,自家肯定用啊,这有问题?”

但是王道林听着,却是眼睛都微微湿润了,然后道:“没问题,肯定要用,一定要用……我只是……有些激动。”

“我搞了一辈子的光刻机,做出来的各种光刻机也不少了,但是这……这还是我搞的光刻机第一次要进入生产线……我这心一下子就……”

“以前的时候,我也搞出来了这种i线光刻机,但是做出来一两台样机后就扔仓库了,那些芯片工厂连看都不来看一眼,东西都还没看呢,就说我们的东西比不过进口货!”

“这做出来的光刻机上生产线,我这还是大黄花姑娘上轿子,头一回呢……我这,高兴着呢。”

说着说着,这个王道林就直接蹲地上抹眼泪了。

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